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質(zhì)量流量控制器功能

2022.07.23

質(zhì)量流量控制器是利用連續稀釋法將已知濃度的原料氣，以較小的流量，恒定不變地送入氣體混氣模塊中，再通過(guò)混氣模塊，同時(shí)將凈化過(guò)的背景氣體（通常使用高純N2或Air）以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。

稀釋后的混合氣連續不斷地從混氣模塊出供使用的配氣設備。準確計量原料氣流和背景氣流之比可得稀釋倍數?；旌蠚獾臐舛瓤珊?jiǎn)單地從稀釋倍數計算出來(lái)，調節氣流比可以得到所需濃度的標準氣體。

 (1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。  對于多數流量測控系統而言，流體系統控制單元哪有賣(mài)，很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差；對于質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。

 (2)  測量控制的自動(dòng)化  質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常， 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA， 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口， 能非常方便地與計算機連接， 進(jìn)行自動(dòng)控制。 

 (3)  定量控制流量  質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的給定量，這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。 

(4)  適用范圍寬  有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）

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